日本USHIO牛尾 準分子燈特點：

單一波長、低溫處理

因為是單一波長，因此可選擇會引起化學反應的紫外線，

并可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。

*效率

從電力轉換為光能源的效率高（172nm型的轉換率10%)，

即使低電力亦可產生大的能量。

可瞬間亮燈滅燈

僅于必要時照射必要量的能量，

因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優點。

安裝方向不受限制

燈的亮燈方向不受限制，可配合生產線做立面照射。

日本USHIO牛尾 準分子燈分光分布：